製品・サービス電力変換システム
電力変換システム 高圧DC電源
半導体製造装置・フラットパネルディスプレイ・ソーラーパネルなどの製造プロセス用直流電源です。アークレスによるリアクティブスパッタにも対応しています。
HPKシリーズ
- CPUによる数値制御・通信機能搭載で操作も容易です。
- DC電圧の幅広い範囲で定格電力の供給が可能で、高速アーク遮断機能が不可欠な光学膜(SiO2,TiOx)、耐摩耗膜(SiOx,Al2O3) 及び透明伝導膜(ITO)の成膜に最適です。
- RFシステムとのカップリングに対応します。
