製品・サービス電力変換システム

電力変換システム　ＲＦシステムマッチングボックス

多様なプラズマ負荷にベストマッチングできるように、新しいコンセプトで設計されています。
ＲＦジェネレータとともに、独自の数値制御方式を採用し、世界最速のマッチングを実現します。