製品・サービス電力変換システム
電力変換システム ＲＦシステム 電子マッチャー
半導体市場で要求される高スループットに対応するため、駆動部レスを実現したマッチャーです。高速マッチングを実現し、微細加工技術が要求される製造装置に高いハンドリングを提供します。
特性
- 電流制御によりインダクタンスを可変する可変リアクトルを使用
- 高速電流制御による1ms以内の高速マッチング
- メンテナンスフリー
- 完全なる電子制御
- 機械稼働部品の取り扱いなし
- リニア動作による反射波0W制御
- プリセット機能によるイグニション動作の最適化
推奨用途
- 短期プロセス
- ALD/ALEプロセスに最適
- RF-ON時の条件変化を伴うプロセス
- 高インピーダンス、広い整合範囲を必要とするプロセス
