製品・サービス電力変換システム

電力変換システム　ＲＦシステム電子マッチャー

半導体市場で要求される高スループットに対応するため、駆動部レスを実現したマッチャーです。高速マッチングを実現し、微細加工技術が要求される製造装置に高いハンドリングを提供します。