产品、服务电力交换系统

电力交换系统高压DC电源

这是广泛用作半导体制造装置、平板显示器、太阳能面板等制造工艺的直流电源。并且支持无弧反应溅射。

HPK系列

配备了CPU的数值控制与通信功能，同时操作非常简单。
可以在DC电压的广泛范围内供应额定电力，是适用于高速电弧阻断功能必不可缺的光学膜(SiO2,TiOx)、耐磨损膜(SiOx,Al2O3)以及透明传导膜（ITO）的成膜工艺。
支持与RF系统之间的耦合功能。