半導体製造装置・液晶パネル・ソーラーパネルなどの製造プロセス用直流電源です。DC電圧の幅広い範囲で定格電力の供給や、高速アークしゃ断機能が不可欠な光学膜(SiO2,TiOx)、耐摩耗膜(SiOx,Al2O3)、及び透明電導膜(ITO)の成膜に最適です。 アークレスによるリアクティブスパッタにも対応しています。

写真左：HPKシリーズ15kW型、 写真右：マスタースレーブ構成による45kW型

		CPUによる数値制御・通信機能搭載で操作も容易です。
		DC電圧の幅広い範囲で定格電力の供給や、高速アーク遮断機能が不可欠な光学膜(SiO2,TiOx)、耐摩耗膜(SiOx,Al2O3)　及び透明伝導膜(ITO)の成膜に最適です。
		RFシステムとのカップリングに対応します。