多様なプラズマ負荷にベストマッチングできるように、新しいコンセプトで設計されています。 ＲＦジェネレータとともに、独自の数値制御方式を採用し、世界最速のマッチングを実現します。

自動整合もベクトル制御方式による高速整合とプラズマインピーダンス表示による高度なプロセス再現性を可能にします。