発振周波数
13.56MHz
定格出力
15kW
高調波歪率
-45dB以下
出力方式
MOS-FET方式
出力コネクタ
EIA 7/8 タイプ
入力電圧
3相400/440V
入力容量
25.0kVA以下
冷却方式
水冷(8ℓ/分)
外形寸法
480W×660D×200H (mm) (突起部含まず)
質量
46kg