発振周波数
13.56MHz
定格出力
5kW
高調波歪率
-45dB以下
出力方式
MOS-FET方式
出力コネクタ
DIN7/16 または LCタイプ
入力電圧
3相200/220V
入力容量
8.0kVA以下
冷却方式
水冷 (6ℓ/分)
外形寸法
240W×555D×177H (mm) (突起部含まず)
質量
25kg