発振周波数
13.56MHz
定格出力
3kW
高調波歪率
-45dB以下
出力方式
MOS-FET方式
出力コネクタ
HNタイプ
入力電圧
3相200/220V
入力容量
5.0kVA以下
冷却方式
水冷 (4ℓ/分)
外形寸法
240W×460D×150H (mm) (突起部含まず)
質量
18kg